智能阀门&阀门弹簧开启压力解决方案
设备工作流程说明
放置产品 → 正压检测 → (合格) →负压检测 → 显示结果/报警
双工位、双工位互不干扰、可独立/同时测试
(对于单个工位)正负压双通道、双通道气密性互不影响
拥有数字和曲线显示两种方式。可以设定合格判定范围
I/O交互和232通讯
控制管路使用铜管
流量控制需要恒流量自动控制
设备关键参数
技术规格书参数
有效分辨率≤1pa
压力控制范围(包括调节范围和检测范围):- 80 Kpa ~ +500Kpa
流量控制范围(包括调节范围和检测范围):±0~±200sccm
精度 0.1%F.S.
分辨率 1pa
动态恒流量控制(数控气压、逐步提高压力)
在相对湿度≤85%RH的环境下正常工作
在温度—5°C~45°C的环境下正常工作
样品测试标准
AP31
正压恒流 10L/h 166.6sccm 开启压力140kpa~160kpa G
负压恒流3L/h 50sccm 开启压力0~-10kpa
流量:检测、控制、流量和压力的关系
EX21
正压恒流 10L/h 开启压力30~40kpa
负压恒流 3L/h 开启压力0~-10Kpa
G A D 101.3Kpa A 0kpaG
0kpaA -100kpaG
D针对于传感器 2接头 返回压力差 ±G
设备工作参数
该样品实际测试需要的参数(最低标准)
有效分辨率≤1pa
压力控制范围(包括调节范围和检测范围):- 50 Kpa ~ +200Kpa
流量控制范围(包括调节范围和检测范围):±0~±200sccm
分辨率 1pa
动态恒流量控制
测试原理讲解 方案一
一个传感器用于检测气压变化过程
爆裂点是一个极点
记录气压的压力降/突变
记录后进行比较
测试原理讲解 方案二
一个传感器检测气压的变化过程
一个传感器用于检测变化点(时间/触发条件)
记录气压曲线(二维数组/队列/单向表)
确认开启后再进行分析
设计测试
1.压流关系
气源压力 160Kpa 4mm 流量?
2.检测流量
流量传感器(最大耐压180kpa)
压力差算流量
3.控制流量
流量变送器、比例阀(DA\PID)恒流量
逐步提升压力(压差)控制流量 -> 精密/高速DA输出
传感器选型
压力传感器
一个负压MPX4250
一个正压精度(200~300kpa以下)MS4525
一个正压量程 MS4525SS5A100G/AP
一个精度(-80~250KpaG)NXP/TE
一个正压量程(0~600kapG/A)
流量传感器(暂时不考虑)